1、等離子體發射光譜儀開機測定前要標好各項準備工作，儀器不要隨便開停，儀器頻繁開啟容易造成損壞，因為儀器在每次開啟的時候，瞬時電流大大高于運行正常時的電流，瞬時的脈沖沖擊，容易造成功率管燈絲斷絲，容易短路及過早老化等，因此使用中要倍加注意，一旦開機就把要做的事做完，不要中途關停機。

　　2、平時沒有樣品可測時，保證每周開一次機，運行半個小時到一個小時。如一年甚至更長時間不開機，基本上儀器就得大修。長時間沒開機，開機前一定要檢查氣、電等是否符合相關條件。

　　3、每次作完實驗后，一定要把樣品、標準等溶液遠離儀器，減少溶液揮發對儀器的腐蝕。

　　4、使用循環水冷的等離子體發射光譜儀，一定要用蒸餾水，防止儀器結垢。